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FFU風機過濾單元在凈化空調系統中的應用

發布者:中建南方時間:2022-02-12

      隨著生產工藝的不斷更新,生產環節的FFU風機過濾單元在半導體微電子的生產過程中,其產品的成品率和可靠性有很大程度取決于車間的潔凈度及設備。

      潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度、含菌濃度受控的房間。潔凈室一般建成后,布局不能隨意改動,但由于生產工藝的不斷更新,使得原有的潔凈室廠房潔凈度布局不能滿足新工藝的需求,導致潔凈室潔凈廠房由于產品換代而需要頻繁改動,大量浪費財力、物力。傳統的凈化空調系統主要采用集中送風的方式,即通過空氣處理設備(加熱器、冷卻器、加濕器、初效/中效過濾器等)和風機均集中安裝在空調機房內,高效過濾器安裝在系統的末端,用集中的送、回風管將空氣處理設備與潔凈室相連。這種方式有一個顯著的缺點就是靈活性較差,一旦生產工藝調整導致車間的潔凈度需要調整,幾乎是不可能實現。

      FFU作為一種新型凈化設備,在潔凈領域占有重要地位。FFU在潔凈車間的潔凈度的控制上,具有高度靈活性,通過增減FFU凈化過濾單元數量,是車間局部潔凈度的調整和布局,就可以滿足生產工藝改動帶來的潔凈室需求的變化。同時FFU凈化過濾單元自帶動力、風口、燈具,可以節省大量的投資。

      凈化空調采用FFU送風方式,頂部均布FFU,FFU在凈化空調系統中充當凈化循環組,潔凈室的循環風量等于潔凈室內FFU風量總和。FFU潔凈方式可以實現空氣潔凈等級要求在ISO3-ISO9(即1級~100萬級)之間的潔凈室。

FFU通風方式與傳統集中送風方式的優缺點分析

(1)FFU通風方式系統靈活,可隨時調整

      因潔凈室的壁板都是以天花板格子的模數來布置,由于其特殊節點的構造,潔凈室的壁板可以隨時調整,來改變布局,如果車間的潔凈度需要調整,可以通過增減FFU的數量來實現。

(2)低能耗

       從FFU的組成部件來看,需要消耗能量的只有微型風機,FFU系統風管很少,除新風以風管送達外,大量的回風以小循環的方式在運行,大大減少風管阻力消耗。雖然使用FFU風機過濾系統初期投資比風管通風高,但在后期運行中,FFU一般比集中送風的凈化系統節能30%以上,更節能、且免維護。

(3)出風均勻穩定

      FFU自帶風機,音系出風均勻穩定,避免了集中送風系統各送風口風量平衡的問題。

(4)節省空間

      FFU凈化系統省去了送回風管,可節省安裝空間。

(5)負壓密封

      FFU送風系統的靜壓箱為負壓,因此即使風口存在泄露,也是潔凈室向靜壓箱泄露,不會導致對潔凈室的污染。

      FFU系統的缺點:風機數量大,故障幾率大。且FFU布置在吊頂上,維修有一定的困難。而集中送風系統因設備較為集中,數量少,易于維護。也正是因為FFU系統數量眾多而分散,一般少量的FFU故障并不會對整個車間的潔凈度造成很大的影響,而集中送風系統只要一臺AHU出現故障,會造成大面積的潔凈室停止運行。

 

 


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